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氟化物气相沉积制备钨涂层
氟化物气相沉积制备钨涂层
来源 :硬质合金 | 被引量 : 0次 | 上传用户:chungpy
【摘 要】
:
采用氟化物氢还原的方法制备钨涂层.结果显示涂层的厚度可达150微米以上,密度为理论密度的99%,纯度可达99.9%.采用扫描电境分析沉积层组织形貌,结果显示气相沉积钨是沿沉积方
【作 者】
:
杜继红
李争显
周慧
黄春良
【机 构】
:
西北有色金属研究院
【出 处】
:
硬质合金
【发表日期】
:
2003年3期
【关键词】
:
氟化物
氢还原
气相沉积
制备
钨涂层
扫描电境
柱状晶
fluorides
CVD
tungsten
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采用氟化物氢还原的方法制备钨涂层.结果显示涂层的厚度可达150微米以上,密度为理论密度的99%,纯度可达99.9%.采用扫描电境分析沉积层组织形貌,结果显示气相沉积钨是沿沉积方向上生成柱状晶体结构.
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