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微机电压力传感器在国外早已实现产业化。国内只有少数企业能够进行小批量生产。工业用的产品大部分依靠进口，或者引进国外芯片和敏感元件进行组装。本文叙述了在微机电压力传感器产业化方面存在的技术和工艺问题，并对产业规模问题进行了探讨。
微机电压力传感器的产业化问题
【摘 要】
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微机电压力传感器在国外早已实现产业化。国内只有少数企业能够进行小批量生产。工业用的产品大部分依靠进口，或者引进国外芯片和敏感元件进行组装。本文叙述了在微机电压力传
【机 构】
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沈阳仪器仪表工艺研究所
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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2002年9期
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