微装配技术的进展和发展趋势

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随着微机电系统的快速发展 ,对微装配技术的需求日益迫切。本文详细地综述了近年来微装配技术发展的几个主要方面 ,包括 :微装配机理 ,视觉伺服微装配的结构 ,微夹持器等等。文章最后对今后微装配的发展方向进行了讨论 With the rapid development of MEMS, the demand for micro-assembly technology is becoming more and more urgent. In this paper, the main aspects of the development of micro-assembly technology in recent years are summarized in detail, including the micro-assembly mechanism, the structure of the visual servo micro-assembly, the micro-gripper and so on. Finally, the paper discusses the future development of micro-assembly
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