【摘 要】
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讨论了使用阻抗分析仪测量介质薄膜介电性质的方法。通过Agilent 4294A高精度阻抗分析仪、16047A夹具以及探针平台,搭建了介质薄膜C-V曲线测量平台,测量了沉积在p-Si衬底上的
【基金项目】
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中国高等教育学会“十一五”教育科学研究规划项目(No.06AIJ001004);北京市教育委员会共建项目;北京科技大学教研基金项目
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讨论了使用阻抗分析仪测量介质薄膜介电性质的方法。通过Agilent 4294A高精度阻抗分析仪、16047A夹具以及探针平台,搭建了介质薄膜C-V曲线测量平台,测量了沉积在p-Si衬底上的HfO2薄膜的介电常数,并计算得到了p-Si衬底与HfO2薄膜界面的界面态密度、其附近的固定电荷密度,以及可动离子电荷密度。该文内容可以作为大学物理实验的一个研究性实验项目。
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