晶体硅生长设备外围设施的研究

来源 :河南科技 | 被引量 : 0次 | 上传用户：jinkejinlv

【摘要】

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针对国内晶体硅生长设备现状,简要认识了多晶硅铸锭炉的技术发展瓶颈,从外围电力系统、氩气供应做了简单介绍,重点介绍了冷却水路系统的计算、研究。

【作者】

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【机构】

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河北晶龙阳光设备有限公司

【出处】

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河南科技

【发表日期】

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2013年9X期

【关键词】

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