论文部分内容阅读
针对市场需求，在对数拟合的计算方法基础上，采用电化学分析，基于AduC812芯片，提出了一种应用于等离子体增强化学气相沉积法（PECVD沉积法）设备的双通道气体分析仪的理论基础。以便携式双路（SiH4／N2）气体分析仪——FXY02型气体分析仪为例，阐述了其系统架构、关键技术。该气体分析仪可满足各种气体分析的需求。