【摘 要】
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由于A1膜的保护层MgF2薄膜的光学常数对Al/MgF2高反射镜的性能有极大的影响，本文研究了获取Al/MgF2薄膜光学常数的方法。用热舟蒸发的方法在室温B270基底上镀制了3块不同MgF2
【机 构】
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同济大学教育部先进微结构材料重点实验室,同济大学物理科学与工程学院,中国科学技术大学国家同步辐射实验室
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由于A1膜的保护层MgF2薄膜的光学常数对Al/MgF2高反射镜的性能有极大的影响，本文研究了获取Al/MgF2薄膜光学常数的方法。用热舟蒸发的方法在室温B270基底上镀制了3块不同MgF2厚度的A1/MgF2反射镜样品，通过掠入射X射线小角反射方法表征样品，获得了膜层厚度和粗糙度。在国家同步辐射实验中心计量站测试了人射角为5°时，样品在105~130nm波段的反射率。在Al、MgF2膜层的厚度和A1的光学常数已知条件下，依据菲涅尔公式，得出了满足某波长处样品反射率的等值曲线，然后从三条曲线的交
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