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文章是在讨论逻辑制程中，由于芯片设计问题产生的天线效应，通过减小芯片在显影后冲洗时的芯片的转速来消灭天线效应，增大工艺可客性的过程。
加大工艺的可容性
【摘 要】
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文章是在讨论逻辑制程中，由于芯片设计问题产生的天线效应，通过减小芯片在显影后冲洗时的芯片的转速来消灭天线效应，增大工艺可客性的过程。
【机 构】
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中芯国际集成电路制造（天津）有限公司
【出 处】
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科技创新与应用
【发表日期】
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2014年26期
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