浅谈影响三氯氢硅合成炉运行周期的因素

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三氯氢硅合成炉是生产三氯氢硅的核心设备,合成炉的运行周期直接影响三氯氢硅合成系统连续运行的时间。本文结合实际生产,经过理论分析,提出了如何延长三氯氢硅合成炉运行周期,从而保证三氯氢硅合成系统稳定生产。
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