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为了实现射频系统对具有高品质因子的电感的迫切需求，本文提出了利用玻璃槽实现高品质因子电感的方法。通过对电感损耗机制分析得到影响玻璃槽电感品质因子的因素，通过建立玻璃槽电感的物理模型，并使用HFSS与ADS软件联合仿真的方法模拟了不同变量对玻璃槽电感的影响，得到的玻璃槽电感的品质因子大于100，同时，通过将基于玻璃槽电感的UWB超宽带滤波器与STATSChipPAC公司基于硅基的UWB带通滤波器进行对比，仿真验证了基于玻璃槽电感实现的滤波器的性能优良．这说明电感品质越高对器件的性能提升越明显，所以本文提出的