论文部分内容阅读
从机构设计、驱动方式、控制策略以及实时监测等方面对用于微电子制造的高速高精度运动系统关键技术进行综述.提出有待深入研究的方向:1)并联机构在系统中的应用;2)解决柔性结构振动问题的控制策略;3)用于实时动态全闭环控制模式的视觉伺服技术.
用于微电子制造的高速高精度运动系统关键技术
【摘 要】
：
从机构设计、驱动方式、控制策略以及实时监测等方面对用于微电子制造的高速高精度运动系统关键技术进行综述.提出有待深入研究的方向:1)并联机构在系统中的应用;2)解决柔性
【机 构】
：
清华大学深圳研究生院
【出 处】
：
半导体技术
【发表日期】
：
2003年3期
其他文献
目的比较骨髓细胞形态学和流式细胞术在非霍奇金淋巴瘤(NHL)骨髓侵犯诊断中的价值。方法选取2015年6月至2018年11月兰州大学第一医院收治的初诊疑似NHL骨髓侵犯患者150例,分
海的3月，春意盎然，“芯芯”向荣。3月24日，由中国半导体行业协会和中国国际贸促会电子信息行业分会联合举办的2003年中国国际集成电路产业展览暨研讨会（ICChina2003）在上海拉开帷
原牙形石Ｇｏｐｐａｒｏｄｕｓ属外部形态的演化趋向可能是沟的增加，从“二沟型”至“三沟型”。这与早奥陶世Ｓｃｏｌｏｐｏｄｕｓ属的演化有某些类似之处。单锥副牙形石的演化趋向尚不清楚。Ｗｅｓｔｅｒｇａａｒｄｏｄｉｎａ的演化趋向表现在：１．齿体轮廓
本文通过磁性地层学方法研究了兰州段黄河阶地，宝鸡段渭河阶地，洛川段洛河阶地，结果表明：兰州段黄河最高阶为六级阶地，发育于１．４０ＭａＢ．Ｐ．，兰州地区黄河最早出现在１．６０ＭａＢ．Ｐ．。一级支流宝鸡段渭河最高阶地
本项研究在野外完成了长白山聚龙泉温泉的测温测流工作;采集了相应的温泉水样,对水样进行了常规分析,获得了K<sup>+</sup>、Na<sup>+</sup>、Ca<sup>2+</sup>、Mg<sup>2+</su
代谢综合征(MS)自提出以来备受学者关注,其终点事件发生率高,特别是心脑血管事件已位居死亡三大原因之首,严重威胁人类健康。MS的发生发展受多种危险因素的影响,主要包括年龄
豫西石千峰组很发育，分布广泛，据钻井的岩芯及化石划为三段，下段：平顶山砂岩段；中段：双壳类泥灰岩段；上段；石膏钙核段。平顶山砂岩段的地质时代为晚二叠世，地层上可同华北石千峰组下部
作者以若尔盖铀矿床为例，研究了含矿热液形成的石英脉石英的铅同位素组成，并将其作为联系母源铅同位素组成的桥梁，判别铀的来源。结果表明，矿床中石英铅同位素组成与含矿黄铁矿和
肝细胞癌(HCC)在我国的发病率高、预后差,因此早期诊断、合理治疗对改善患者的预后至关重要。近年来,超声造影(CEUS)技术和超声弹性成像(UE)技术快速发展,显著提高了超声技术