【摘 要】
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本文对ＧａＡｓ光电阴极片ＵＨＶ系统中原子级表面清洁方法做了研究，它们是：光加热法、直接加热法、离子轰击加退火法、热子加热法，表面清洁效果用装于ＵＨＶ系统中间在线俄歇检测，表面质量用Ａａ／ＧａＡｕｇｅｒ峰高进行
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本文对ＧａＡｓ光电阴极片ＵＨＶ系统中原子级表面清洁方法做了研究，它们是：光加热法、直接加热法、离子轰击加退火法、热子加热法，表面清洁效果用装于ＵＨＶ系统中间在线俄歇检测，表面质量用Ａａ／ＧａＡｕｇｅｒ峰高进行比较，指出两种用于第三代象增强器光电阴极的表面清洁方法：ＣＳ－离子轰击加退火法和热子背加热法。
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