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软性光刻照相底版的反转冲洗法
软性光刻照相底版的反转冲洗法
来源 :工具技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户:ZHY19641030
【摘 要】
:
<正> 量具刻度光刻加工,通常选用硬性的玻璃照相底版控制曝光区域。近年来,因曲面光刻工艺需要,经常用感光胶片制成软性照相底版。为了保证刻度精度,首先用照相-真空镀铬法在
【作 者】
:
黄光勋
【机 构】
:
宁波量具一厂315040
【出 处】
:
工具技术
【发表日期】
:
1994年1期
【关键词】
:
光刻
照相底板
反转冲洗法
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<正> 量具刻度光刻加工,通常选用硬性的玻璃照相底版控制曝光区域。近年来,因曲面光刻工艺需要,经常用感光胶片制成软性照相底版。为了保证刻度精度,首先用照相-真空镀铬法在玻璃上制成铬负版,再用感光胶片拷贝成软性正版。
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