【摘 要】
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主要介绍标准微流量计的性能测试。测试结果表明；气体流量的测量范围为１７．１×１０－５～１．２２×１０－５ｐａ·Ｌ／ｓ，不确定度小于２％。
Mainly introduces the performance test of standard micro-flowmeter. The te
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主要介绍标准微流量计的性能测试。测试结果表明；气体流量的测量范围为１７．１×１０－５～１．２２×１０－５ｐａ·Ｌ／ｓ，不确定度小于２％。
Mainly introduces the performance test of standard micro-flowmeter. The test results show that the measurement range of gas flow is 17.1 × 10-5 ~ 1.22 × 10-5pa · L / s and the uncertainty is less than 2%.
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