【摘 要】
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近年来,可见到紫外的短波激光可望应用于半导体蚀刻用光源、机械材料、结构件等的批量加工、电子工业领域中的功能性结构件的微细加工、物质表面的改性、超微细加工、紫外成
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近年来,可见到紫外的短波激光可望应用于半导体蚀刻用光源、机械材料、结构件等的批量加工、电子工业领域中的功能性结构件的微细加工、物质表面的改性、超微细加工、紫外成型、激光磨蚀等许多领域.但由于以往的短波激光光源用的是稀有气体卤化物类的准分子激光器,其工作效率低,寿命短,特性劣化快,工作电压高,装置尺寸大等很多缺点,故在操作和维修上需要投入很多劳动力、费用及时间.因此,开发能够解决这些问题的全固体短波激光光源已成为工业应用方面最重要的课题.
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