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溅射产额是表征溅射效应的重要参数。Sigmund的线性级联碰撞理论在溅射产额计算中获得了广泛的应用和发展。本文对Sigmund理论进行简单介绍,并对基于Sigmund理论的各种经验公式进行分析。在此基础上,对不同条件下的溅射产额进行了计算,通过计算结果,对各种公式的使用范围进行了讨论。
基于Sigmund理论的溅射产额计算及分析
【摘 要】
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溅射产额是表征溅射效应的重要参数。Sigmund的线性级联碰撞理论在溅射产额计算中获得了广泛的应用和发展。本文对Sigmund理论进行简单介绍,并对基于Sigmund理论的各种经验公
【机 构】
：
合肥工业大学机械与汽车工程学院; 合肥工业大学机械与汽车工程学院 安徽合肥230009; 安徽合肥230009;
【出 处】
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真空
【发表日期】
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2007年02期
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