【摘 要】
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光学系统一般要通过镀膜来提高系统的透过性能,光学零件(基底)镀膜前表面的清洁质量直接影响镀膜的薄膜质量,如薄膜表面质量(光洁度)、膜层牢固度。通过对不同光学零件清洁方
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光学系统一般要通过镀膜来提高系统的透过性能,光学零件(基底)镀膜前表面的清洁质量直接影响镀膜的薄膜质量,如薄膜表面质量(光洁度)、膜层牢固度。通过对不同光学零件清洁方法的评述,分析了影响光学零件膜层表面质量与牢固度的因素,提出了一些工作实际中的改进措施。
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