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本文探讨在扫描电镜检测中,二次电子像的质量问题.详细介绍了电子束直径,SE的取样区,样品的自然衬度以及周围环境对图像分辨率的影响.
二次电子像质量
【摘 要】
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本文探讨在扫描电镜检测中,二次电子像的质量问题.详细介绍了电子束直径,SE的取样区,样品的自然衬度以及周围环境对图像分辨率的影响.
【机 构】
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华南理工大学测试中心(广东广州)
【出 处】
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第二届全国扫描电子显微学会议
【发表日期】
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2003年11期
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