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期刊论文
电容式微机械静电伺服加速度计模型建立
电容式微机械静电伺服加速度计模型建立
来源 :探测与控制学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:CrazyDesire
【摘 要】
:
阐述了电容式微机械静电伺服加速度计系统的基本结构和工作原理,详细分析并建立了在空间任一给定加速度a下加速度计的静态、动态和电模拟模型,指出敏感质量块各方向上的运动
【作 者】
:
陈宇晓
刘昌孝
【机 构】
:
电子科技大学,中国工程物理研究院电子工程研究所
【出 处】
:
探测与控制学报
【发表日期】
:
2003年1期
【关键词】
:
微机械加速度计
经典力学模型
动态模型
电模拟模型
微机电系统
结构
工作原理
惯性敏感单元
伺服电子线路
micromachined acceleromete
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阐述了电容式微机械静电伺服加速度计系统的基本结构和工作原理,详细分析并建立了在空间任一给定加速度a下加速度计的静态、动态和电模拟模型,指出敏感质量块各方向上的运动仅决定于该方向的加速度,由此建立各方向上的运动方程,并给出各参数的计算公式,为加速度计的设计和仿真奠定扎实基础.
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