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微结构的各种测试技术的研究现状和发展趋势
微结构的各种测试技术的研究现状和发展趋势
来源 :三门峡职业技术学院学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jealy0717
【摘 要】
:
微结构的发展状况和微结构对现代社会起着重要作用,而微结构测试技术在微结构开发和应用中有着重要意义。
【作 者】
:
张彦奎
【机 构】
:
三门峡市锅炉压力容器检验所
【出 处】
:
三门峡职业技术学院学报
【发表日期】
:
2010年1期
【关键词】
:
微结构测试
发展趋势
电子散斑干涉
MEMS
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微结构的发展状况和微结构对现代社会起着重要作用,而微结构测试技术在微结构开发和应用中有着重要意义。
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