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半导体设备热传输中的隐式—显式多步有限元法
半导体设备热传输中的隐式—显式多步有限元法
来源 :数学研究 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bae2009
【摘 要】
:
考虑热引导半导体设备中的传输行为,用一个有限元法离散电子位势所满足的Rpoisson方程;用隐式-显式多步有限元法处理电子密度和空洞密度满足的两个对流-扩散方程,热传导方程用隐式
【作 者】
:
陈蔚
【机 构】
:
中国科学院数学与系统科学研究院
【出 处】
:
数学研究
【发表日期】
:
2002年2期
【关键词】
:
半导体设备
热传输
强A(0)稳定
多步法
有限元法
semiconductor device
heat conduction
strongly A(0)s
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考虑热引导半导体设备中的传输行为,用一个有限元法离散电子位势所满足的Rpoisson方程;用隐式-显式多步有限元法处理电子密度和空洞密度满足的两个对流-扩散方程,热传导方程用隐式多步有限元法离散,推导了优化的L^2范误差估计。
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