【摘 要】
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提出并设计了一种用于硅基氮化镓（Ga N）可调微镜的静电梳齿型微驱动器。利用有限元软件建立了该器件的几何结构模型,对器件的结构进行了仿真优化。此外,采用微机电系统（MEMS）加工
【机 构】
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南京邮电大学光电工程学院,南京邮电大学PeterGrttnberg研究中心
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提出并设计了一种用于硅基氮化镓（Ga N）可调微镜的静电梳齿型微驱动器。利用有限元软件建立了该器件的几何结构模型,对器件的结构进行了仿真优化。此外,采用微机电系统（MEMS）加工工艺,制作出了用于硅基氮化镓可调微镜的梳齿型微驱动器,并对其驱动特性进行测试。测试结果表明：所制作的微驱动器的位移随着电压的变化呈二次方关系,与仿真结果基本一致。当加载驱动电压为200 V时,微驱动器的驱动位移可达到1.08μm。
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