【摘 要】
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<正>近年来,随着全球经济技术的高速发展,产品的多功能化和轻便化的不断推进,使得薄膜科学的应用日益广泛。而溅射靶材作为镀膜产业的基本耗材,其制备技术也得到了长足发展。
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<正>近年来,随着全球经济技术的高速发展,产品的多功能化和轻便化的不断推进,使得薄膜科学的应用日益广泛。而溅射靶材作为镀膜产业的基本耗材,其制备技术也得到了长足发展。溅射薄膜由于其致密度高,附着性好,被广泛应用于装饰、玻璃、电子器件、光学器件、半导体、磁记录、平面显示屏、太阳能电池、飞机叶片防护涂层等众多领域。随着上述领域的快速发展,对靶材的需求量急剧增加,同时对靶材的高质量、大型化及
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