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采用动式卷绕直流反应磁控溅射法，在双轴织构的Ni-5at％w基带上快速制备双面Y2O3种子层用于制备高质量YBa2Cu3o7-x（YBCO）涂层导体。研究了溅射气压对种子层织构和表面形貌的影响，以及不同溅射气压条件下种子层的两面一致性。优化工艺条件之后，制备出纯c轴取向的双面Y2O3种子层，其双面面外、面内半高宽分别为3．6°，3．4°和4．6°，4．3°，表面平整致密，平均晶粒尺寸约为40nm。