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在介绍硅微电子机械学的同时,给出了硅微电子机械加工方法和微小器件实例。
硅微电子机械学进展
【摘 要】
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在介绍硅微电子机械学的同时,给出了硅微电子机械加工方法和微小器件实例。
【机 构】
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东南大学微电子中心,南京邮电学院
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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1993年3期
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