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<正> 静电放电对电子工业生产的不良影响及对IC等微电子组件造成的损害已被人们广泛认识并引起重视。 1.静电产生与危害 通过实验可以知道,微电子生产环境中静电产生方式主要有以下三种。 (1)物体相互摩擦分离 很多绝缘表面,像塑料包装容器、电子元器件塑封(树脂封装)表面、工作服、工作台、操作工具等都可因摩擦分离产生静电。上述物体产生静电所带正或负电压决定于不同物体摩擦起电序列(见表1)。