【摘 要】
：
对电子束光刻系统的原理以及在微纳加工领域的应用进行了讨论。首先对光刻系统的工作原理进行了阐述。然后讨论了电子束光刻的关键工艺,如光胶的选择、剥离工艺的优化以及邻
【机 构】
：
无锡中微掩模电子有限公司,中国电子科技集团公司第58研究所
论文部分内容阅读
对电子束光刻系统的原理以及在微纳加工领域的应用进行了讨论。首先对光刻系统的工作原理进行了阐述。然后讨论了电子束光刻的关键工艺,如光胶的选择、剥离工艺的优化以及邻近效应对图形的影响及修正方法。由于电子束光刻在科研领域展现了巨大的潜力,因此吸引了许多学者的注意。最后,举例介绍了电子束光刻在生物医学和硅光电子上的应用。
其他文献
文章分析了我校在外国留学生的中医教学实践中存在的问题,并提出了相关的对策。建议要进一步完善中医对外教育的管理制度,健全有效的激励机制,在师资培养,教材选用,评价体系
进入21世纪以来,社会经济迅猛发展,改革工作深入推进,行政事业单位作为国家最重要的组织体系之一,具有一定的公益性质,承担着重要的社会职责,如何强化内部管理、建立完善的制
在环氧树脂应用领域中,固化剂是不可缺少的重要组成部分,它与环氧树脂一起对固化产物的物理性能起决定作用。本课题是针对南方湿热天气研发一种新型固化剂和环氧树脂配合作为
因神经损伤导致肢体运动功能障碍的患者日益增多。这将给家庭和社会带来沉重的负担,而康复训练能让瘫痪患者重新获得日常生活自理能力。以神经可塑性为理论依据的肢体康复,从
北京的牛玉强被媒体称为"中国最后的流氓",广东的陈某豪被万宁警方千里押回海南,被称为"海南最后的流氓",一切皆因为他们,一个以流氓罪被判处死缓,一个身为流氓罪的嫌犯。流
新修订的民诉法明确了电子送达的法律地位和使用条件,但如何将电子送达制度落实到位还未得到重视。实证考察表明,电子送达制度对解决"送达难"问题具有里程碑的意义,同时其在
CTC条件下大部分车站的调车作业交由车站控制,跨越正线进行调车取送作业对于列车运行的干扰很大。为了优化车站跨正线调车作业组织,分析了影响调车的因素、调车作业的时分,并
在简要介绍同步磁阻永磁电机的结构及工作原理的基础上,通过有限元技术分析了SR-PM电机的非线性转矩特性,除了基本的转矩特性曲线以外,还深入研究了永磁材料特性、气隙对转矩
我国旅游业的迅猛发展与旅游合同法律制度的缺乏之间形成了鲜明的矛盾,本文在阐述合同有名化基本理论的基础上,分析了我国旅游合同有名化的必要性、可能性,认为我国应当尽快
王义桅教授的《"一带一路"机遇与挑战》,立足于学术研究的推动,着眼于国内外舆论的引导,辩证地解读了"一带一路"战略面临的机遇和挑战,务实地提出了相关挑战的应对策略,凸显