【摘 要】
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过去，在不锈钢上沉积10μm以上多元多层软硬交替TI／TiN／Zr／ZrN厚膜用以提高材料耐腐蚀性能的报道不多。采用阴极电弧离子镀结合脉冲偏压的方法制备了厚度遮15μm的Ti／TiN／Zr／ZrN多层
【机 构】
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中南大学材料科学与工程学院,广州有色金属研究院
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过去，在不锈钢上沉积10μm以上多元多层软硬交替TI／TiN／Zr／ZrN厚膜用以提高材料耐腐蚀性能的报道不多。采用阴极电弧离子镀结合脉冲偏压的方法制备了厚度遮15μm的Ti／TiN／Zr／ZrN多层膜。运用扫描电镜（SEM）、X射线衍射（XRD）、显微硬度计、划痕仪等考察了多层膜的形貌、厚度、相组成、硬度以及膜／基结合力，并利用电化学方法评价了基体、单层TiN薄膜以及多层膜的电化学腐蚀性能。结果表明：制备的Ti／TiN／Zr／ZrN多层膜界面明晰、结构致密、晶粒细小：膜／基结合力夫于70N，显微硬度达2
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