用于高端手机显示的新型玻璃

来源 :激光与光电子学进展 | 被引量 : 0次 | 上传用户：a63421118

【摘要】

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与制造液晶电视及监视器的非晶硅工艺相比，低温多晶硅（LTPS）制造过程对温度、表面及尺寸要求非常苛刻。LTPS-LCD生产商采用传统的二次热处理或特殊抛光a-Si玻璃，这使得基底的表面

【出处】

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激光与光电子学进展

【发表日期】

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2008年3期

【关键词】

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与制造液晶电视及监视器的非晶硅工艺相比，低温多晶硅（LTPS）制造过程对温度、表面及尺寸要求非常苛刻。LTPS-LCD生产商采用传统的二次热处理或特殊抛光a-Si玻璃，这使得基底的表面质量及薄片品质下降。

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