【摘 要】
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由于光学衍射效应，常规光学显微技术的分辨率无法满足100 nm以下形状和结构特征检测的需求。为了在二维单分子层石墨烯检测中用光学显微，弥补非光学检测技术如扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)等固有的过小的视场、过长的检测时间和过高的费用等诸多不足之处，报道了一种新的宽场偏振参数模式化非直观超显微成像(PIMI)方法。该方法通过在传统光学显微光路中增设偏振模式化装置，精确地调制入射光波的偏振状态，利用光波与物质的耦合作用变化和携带近场物质结构信息的远场光场变化，通过分析不同偏振条件下所得图像变化
【机 构】
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南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京210014
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由于光学衍射效应，常规光学显微技术的分辨率无法满足100 nm以下形状和结构特征检测的需求。为了在二维单分子层石墨烯检测中用光学显微，弥补非光学检测技术如扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM)等固有的过小的视场、过长的检测时间和过高的费用等诸多不足之处，报道了一种新的宽场偏振参数模式化非直观超显微成像(PIMI)方法。该方法通过在传统光学显微光路中增设偏振模式化装置，精确地调制入射光波的偏振状态，利用光波与物质的耦合作用变化和携带近场物质结构信息的远场光场变化，通过分析不同偏振条件下所得图像变化，反演计算得到近场光波参数图像和物质结构特征，实现对物质结构和形貌的50 nm级光学超分辨。利用该方法，通过针对石墨烯而开展的一系列对比验证实验，初步实现了对其颗粒边界、层厚、褶皱的分辨，在二维平面内实现了光学超显微分辨。
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