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根据实验所得规律,知金属氧化物表面发生的气—固、气—气反应及其相关的电子过程是气敏作用机理的基础.添加剂、表面处理、温度控制等都能够影响这些反应过程,可用来改善传感器的灵敏度和选择性.
金属氧化物半导体电阻型气敏传感器作用机理
【摘 要】
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根据实验所得规律,知金属氧化物表面发生的气—固、气—气反应及其相关的电子过程是气敏作用机理的基础.添加剂、表面处理、温度控制等都能够影响这些反应过程,可用来改善传
【机 构】
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西安电子科技大学技术物理系,西安电子科技大学技术物理系
【出 处】
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传感技术学报
【发表日期】
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1992年2期
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