SYSTEM-LEVEL SIMULATION OF VIBRATORY MICROMACHINED GYROSCOPE WITH FENCE STRUCTURE

来源 :力学学报：英文版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：yangglan2

【摘要】

：

An equivalent circuit model of a novel fence structure vibratory micromachined gyroscope's oscillating properties is modeled by electrical equivalent circui

【作者】

：

车录锋熊斌王跃林

【机构】

：

StateKeyLaboratoryofTransducerTechnology

【出处】

：

力学学报：英文版

【发表日期】

：

2004年2期

【关键词】

：

等效电路模拟角度传感器微电子力学系统电路等效方程 MEMSangular rate sensorEquivalent electrical simulat

【基金项目】

：

The project supported by the Major State Basic Research Development Program “Integrated Micro-Optical-Electro-Mechanical System”(G1999033101)

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An equivalent circuit model of a novel fence structure vibratory micromachined gyroscope's oscillating properties is modeled by electrical equivalent circuits according to its dynamics equation. Equivalent circuit model of oscillating and differential

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