世界领先半导体厂进入10纳米制程

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【摘要】

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全球半导体制程技术快速演进,设备大厂应用材料（Applied Materials）、科林研发（Lam Research）、ASML等为配合台积电等半导体大客户在进入16/10纳米制程时代,同步驱动成本下降,陆

【出处】

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集成电路应用

【发表日期】

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2015年10期

【关键词】

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纳米制程半导体厂世界制程技术同步驱动升级计划大客户台积电

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全球半导体制程技术快速演进,设备大厂应用材料（Applied Materials）、科林研发（Lam Research）、ASML等为配合台积电等半导体大客户在进入16/10纳米制程时代,同步驱动成本下降,陆续推出升级计划（Refurbish Program）及备品零件计划（Spare Parts）,力助客户冲刺先进制程技术。2015年全球半导体大厂进入16/14纳米Fin FET制程时代,台积电.

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