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研究了卫星相控阵雷达天线系统的TR组件表面聚氟材料薄膜的制备工艺，采用射频磁控溅射法成功地在TR组件表面制备了聚氟薄膜，并对所制备的薄膜进行了电子二次倍增效应阈值试验。结果表明，聚氟薄膜不但具有良好的绝缘性能，且其二次电子发射也较低，提高了电子二次倍增效应阈值。对薄膜组分与形貌进行了X射线光电子能谱（XPS）和扫描电子显微镜（SEM）分析表征，薄膜较好的保持了聚氟材料的特性，其均匀性和致密性均达到了实际应用要求。