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介绍了近年来国外ＳＯＩ晶片制造技术的进展及ＳＯＩ晶片在ＵＬＳＩ方面的应用情况。
SOI晶片制造技术及其应用前景
【摘 要】
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介绍了近年来国外ＳＯＩ晶片制造技术的进展及ＳＯＩ晶片在ＵＬＳＩ方面的应用情况。
【机 构】
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信息产业部电子46所
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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1999年3期
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