【摘 要】
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为了提高AlGaN基深紫外发光二极管（light emitting diode， LED）的内量子效率（internal quantum efficiency， IQE），本文采用了基于InAlGaN/ AlGaN超晶格的电子阻挡层（electron blocking layer， EBL）结构，结果表明与传统的单层和双层电子阻挡层结构相比，超晶格EBL结构能够有效提高LED的内量子效率。在此基础
【基金项目】
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广东省基础与应用基础研究基金（2021B1515120086）； 佛山市人民政府科技创新专项资金（BK20BF013）；
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为了提高AlGaN基深紫外发光二极管（light emitting diode， LED）的内量子效率（internal quantum efficiency， IQE），本文采用了基于InAlGaN/ AlGaN超晶格的电子阻挡层（electron blocking layer， EBL）结构，结果表明与传统的单层和双层电子阻挡层结构相比，超晶格EBL结构能够有效提高LED的内量子效率。在此基础上，本文提出了基于JAYA智能算法的LED结构优化方法，应用该方法以最大化内量子效率为目标，对InAlGaN/AlGaN超晶格EBL结构进行优化设计。结果表明，采用优化超晶格EBL结构后电子泄露和空穴注入问题都有所改善，在200 mA电流注入时深紫外LED的内量子效率比采用单层结构EBL提高了41.2%。
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