飞秒激光深孔加工技术研究

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采用聚焦物镜与接收材料同步运动的方法,以二维平面图形式研究焦点前后脉冲的空间形态。通过改变小孔直径和小孔前后单脉冲能量,可以观察光束空间形态的变化。结果显示:脉冲能量大小只影响刻痕线宽大小;缩小掩模小孔直径时,焦点前后光束空间直径变化趋缓,甚至柬腰位置也随之偏移。在选取合适参数的情况下,可成功刻划出边缘光滑的透射型金属光栅条纹。
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