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利用N2、He、心三种气体对三只电容薄膜规（CDG）在10^-2Pa～10^2Pa的热流逸效应进行了研究，对实验数据进行拟合，得到每种气体在热流逸效应产生区间CDG示值压强的拟合公式，并用实验验证了公式的准确性。对实验数据和拟合公式的分析表明，CDG的校准因子在较高压强（〉10^2Pa）下，趋近于一个与气体种类和校准室温度无关的极限值；在较低压强（〈10^-2Pa）下，趋近于一个与气体种类无关，与校准室温度有关的极限值；在这两者之间的压强范围，校准因子与气体的种类和校准室温度呈复杂的函数关系。