【摘 要】
:
引言rn半导体设备作为半导体行业的基石,支撑着行业的发展.当前,全球半导体行业正蓬勃发展,行业规模再创新高,行业工艺技术已实现5 nm量产.半导体设备的技术研发难度大、费用高,制约着我国半导体行业技术发展.本文通过对现阶段国内外半导体设备行业发展状况进行总结分析,明确行业发展趋势和技术节点差距,以期更好地立足现状,面向未来.
论文部分内容阅读
引言rn半导体设备作为半导体行业的基石,支撑着行业的发展.当前,全球半导体行业正蓬勃发展,行业规模再创新高,行业工艺技术已实现5 nm量产.半导体设备的技术研发难度大、费用高,制约着我国半导体行业技术发展.本文通过对现阶段国内外半导体设备行业发展状况进行总结分析,明确行业发展趋势和技术节点差距,以期更好地立足现状,面向未来.
其他文献
搭建了一台大气压激光解吸介质阻挡放电电离质谱(laser desorption coupled dielectric barrier discharge ionization mass spectrometry,LD-DBDI-MS),凭借DBDI源的高效、软电离特性,显著提高了检测灵敏度.利用该装置对苹果表皮的痕量农药残留进行原位定性和半定量检测.通过标准品加入法,建立了苹果表皮农药三环唑残留的标准定量曲线.苹果表皮三环唑的最低检测量低至1 ng(相当于130μg/kg),远低于国家标准GB 2763—
结合稳态和时间分辨光谱技术,研究了CdSe量子点与富勒烯C60构成的模型太阳能电池体系中,荧光发射猝灭以及基态漂白恢复的动力学过程,发现二者间的荧光猝灭是由CdSe量子点与C60间的光致电子转移所引起的,并且电子转移的速率随着量子点粒径的增大而减小:4.3×109 s-1(3.0 nm),1.1×109 s-1(3.5 nm),0.60×109 s-1(4.0 nm).该结果为设计、构筑以CdSe量子点为中心的光电转化体系,以及提高其光电转化效率提供了实验依据.
类金刚石(DLC)薄膜因其硬度高、禁带宽度可调和抗辐射性好等优点成为空间太阳能电池研究的热点材料之一.采用AFORS-HET v2.5,在AM1.5、功率密度100 mW/cm2的太阳光辐照条件下模拟DLC(P)/c-Si(n)/c-Si(n+)异质结太阳能电池的性能.通过改变P型DLC层和n型单晶硅层参数,得到太阳能电池输出性能的变化规律,并解释了性能变化的内在原因,为DLC异质结太阳能电池的性能优化提供了参考与指导.模拟结果表明:该结构太阳能电池的转换效率超过20.07%(开路电压为695.5 mV,
在超临界二氧化碳布雷顿循环系统涡轮机械设计中,为提高能量转换效率,需要研究转子风阻的变化规律.针对5 MPa二氧化碳工质在不同转速、不同间隙宽度与转子半径比值以及不同定子壁面换热系数的工况进行数值计算分析.结果表明:在间隙宽度与转子半径比值相同的情况下,转子风阻随着转速的增大而增大;在转速一定的情况下,随着间隙宽度与转子半径比值的增大,转子风阻先减小后增大,在其比值为0.20时转子风阻存在最小值;转子风阻受泰勒涡影响较大,泰勒涡强度越大,摩擦系数越小;转子风阻随定子壁面换热系数的增大而增大,定子壁面换热系
融合型变电站作为集成建设多种功能站的新型运营模式,为边缘数据中心与电动汽车充电站的规划运行提出了新的方向;而作为典型的综合能源系统,其运行优化方法也有待深入研究.针对融合型变电站内各功能站协同优化问题,设计了涵盖数据中心、储能电站、电动汽车充电站的融合型变电站运行架构,建立了以年净支出最小为目标函数的多站协同运行优化模型,提出了融合型变电站优化运行策略.通过模型的优化求解,确定多站协同运行最优方案.算例结果表明:电动汽车充电站负荷曲线具有明显的峰谷特性,且与电网用电高峰时段相符,电动汽车充电站接入融合型变
采用热处理方法,通过改变热处理时间和温度来调控氧化石墨烯(GO)薄膜的层间距,并考察了Cs+、K+、Na+、Li+、Sr2+、Mg2+和Al3+离子在不同层间距的GO薄膜中的渗透性.结果发现:热处理后得到的GO薄膜在湿润状态下的层间距范围为0.57~1.31 nm,当薄膜层间距在0.55 nm左右时,水分子很难在薄膜中输运;此外,在不同层间距的GO薄膜中离子渗透性除了与离子水合直径有关之外,还与离子所带电荷以及离子脱水作用有关.该方法实现了Li+/Mg2+和Na+/Sr2+的分离,为离子的精确筛分、促进如
定量核磁共振(qNMR)技术常用来分析内源性小分子代谢物的差异和变化.qNMR中应用最多的是内标法,常见的水溶性内标易与血液中存在的大量蛋白结合,使其化学位移和线宽发生改变,从而影响代谢物定量的准确性,这是qNMR存在的重大挑战.采用对苯二甲酸二钠作为qNMR代谢组学在全血、血浆、血清样品中的内标,其信号峰为清晰稳定的单峰,并且与大多数内源性小分子代谢物的信号峰有着较好的区分.通过与常见qNMR内标的蛋白结合参数进行对比发现,对苯二甲酸二钠的蛋白结合程度更低,在血浆中半峰宽比值(内标/β-葡萄糖)仅为0.
为了探究超临界二氧化碳(sCO2)自然循环的流动特性,在系统压力为7.6~10.2 MPa和加热段入口温度为16~33℃的宽参数范围内,进行了sCO2自然循环流动特性实验研究,详细分析了加热段入口温度、系统压力、回路结构、冷热段温差等对循环特性的影响,并将实验结果和理论模型结果进行比较.结果表明:sCO2自然循环的稳态质量流量随加热功率的提高先快速增加,达到峰值后开始缓慢降低;加热段入口温度、系统压力、回路结构、冷热段温差均显著影响sCO2自然循环的质量流量.理论模型的计算结果和实验结果一致,验证了理论模
三角梅(Bougainvillea spectabilis wind)是一种在热带、亚热带地区广泛分布的观赏性藤本状灌木.选取同安红三角梅品种(Miss Manila)为研究对象,测定其在成花早期组织器官形态变化过程中19种内源激素或激素前体的动态变化,并开展激素之间的相关性分析和互作网络化分析.结果显示:赤霉素4(GA4)、GA7、顺式-12-氧-植物二烯酸(cis-OPDA)、脱落酸(ABA)、反式玉米素(tZ)、反式玉米素核苷(tzR)、油菜素甾酮(CS)和1-氨基环丙烷羧酸(ACC)等激素或前体水
引言rn区域一般按省、市等行政区域划分,通常将空间距离较近、合作密切的跨省市划为一个区域.党的十六届三中全会把区域协调发展列为“五个统筹”的核心战略.党的十九届五中全会指出,坚持实施区域重大战略、区域协调发展战略、主体功能区战略,健全区域协调发展体制机制.通过不断丰富深化发展,我国现已初步形成了京津冀、长三角、珠三角等区域协同创新格局.