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采用磁控溅射镀膜仪制备了基于过渡金属W和介质SiO2的6层薄膜样品,膜系结构为Cu (
W/SiO2基太阳光谱选择性吸收薄膜的制备和表征
【摘 要】
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采用磁控溅射镀膜仪制备了基于过渡金属W和介质SiO2的6层薄膜样品,膜系结构为Cu (
【机 构】
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南京邮电大学电子与光学工程学院、微电子学院,江苏南京210023
【出 处】
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光学学报
【发表日期】
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2019年39期
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