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金属—铁电薄膜—半导体结构的电容—电压特性理论分析
金属—铁电薄膜—半导体结构的电容—电压特性理论分析
来源 :湖北大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:awper1985
【摘 要】
:
用半导体理论讨论了金属-铁电薄膜-半导体(MFS)结构的电容-电压(C-V)特性,其结果表明:在n型Si基片上,理想MFS的C-V曲线为逆时针回滞,有载流子注入的MFS结构的C-V曲线为顺时针回滞,这与实验结果是一致的。
【作 者】
:
顾豪爽
李晓萱
【机 构】
:
湖北大学物理学与电子技术学院
【出 处】
:
湖北大学学报:自然科学版
【发表日期】
:
1998年2期
【关键词】
:
铁电薄膜
载流子
MFS结构
电容-电压特性
Ferroelectric thin filmMFS structureCV characteristicsC
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用半导体理论讨论了金属-铁电薄膜-半导体(MFS)结构的电容-电压(C-V)特性,其结果表明:在n型Si基片上,理想MFS的C-V曲线为逆时针回滞,有载流子注入的MFS结构的C-V曲线为顺时针回滞,这与实验结果是一致的。
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