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亚波长衍射光栅的衍射效率不但与入射光的特性有关，而且与光栅结构和折射率等参数有关。采用严格耦合波理论对亚波长光栅的衍射效率公式进行了推导，对不同光栅结构参数（周期、槽深，占空比）和光栅脊、槽的折射率的亚波长衍射光栅的衍射效率进行了数值计算并用MatLab软件进行仿真模拟，光栅槽深与周期的比值为0．425，占空比为0．507，并且光栅脊、光栅槽的折射率为2．37时，得到具有最佳滤波和衍射效果的亚波长光栅的优化结构。