热红外探测VO2薄膜的制备与XPS分析

来源 :郧阳师范高等专科学校学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lym50691064

【摘要】

：

采用射频磁控溅射沉积方法，结合氢气氛退火工艺制备了热红外探测VO2薄膜，通过优化工艺，制备出化学计量比接近理论值、高质量的VO2薄膜．利用X射线光电子能谱（XPS）对薄膜的相结构、组

【作者】

：

【机构】

：

郧阳师范高等专科学校物理系

【出处】

：

郧阳师范高等专科学校学报

【发表日期】

：

2009年3期

【关键词】

：

下载到本地 , 更方便阅读

下载此文赞助VIP

声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架

论文部分内容阅读

采用射频磁控溅射沉积方法，结合氢气氛退火工艺制备了热红外探测VO2薄膜，通过优化工艺，制备出化学计量比接近理论值、高质量的VO2薄膜．利用X射线光电子能谱（XPS）对薄膜的相结构、组分进行了分析．测试结果显示，V2O5薄膜在退火温度450℃、退火2h条件下，制备得到的薄膜成分主要是VO2相．

其他文献

高职高专会计学专业是一个实践性、操作性很强的专业，实践教学是必不可少的内容。加强和改革高职高专的实践教学，培养“宽口径、厚基础、强能力、高素质”的大学生，是经济发展对

期刊