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ZnO薄膜气敏元件的反应温变和表面反应速率方程
ZnO薄膜气敏元件的反应温变和表面反应速率方程
来源 :传感技术学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xinwei313624094
【摘 要】
:
提出了一种研究气敏元件和材料反应温变的方法和实验装置;给出了反应温变Δtrea随气体浓度C变化的规律;给出了反应放热率Prea与反应温变Δtrea的关系式;得到了表面反应的速率方
【作 者】
:
李长庆
邢建平
黄少艳
徐勇
裘南畹
【机 构】
:
山东大学信息科学与工程学院,山东大学水电中心,山东大学纳米薄膜电子功能材料实验室
【出 处】
:
传感技术学报
【发表日期】
:
2007年8期
【关键词】
:
ZNO
薄膜
反应温变
表面
速率方程
zinc oxide
thin film
reaction temperature change
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提出了一种研究气敏元件和材料反应温变的方法和实验装置;给出了反应温变Δtrea随气体浓度C变化的规律;给出了反应放热率Prea与反应温变Δtrea的关系式;得到了表面反应的速率方程一般形式,它包括了目前常用的两种经验公式:双曲线型和幂函数型.
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