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首先介绍了科氏加速度产生基本原理和评价微陀螺的性能指标,然后主要从结构、工作原理、工艺、性能等方面对基于科氏加速度的一些典型微陀螺进行了分析和比较,同时对基于科氏加速度的微陀螺做出了评价,最后结合目前的研究探讨了基于科氏加速度的微陀螺的发展趋势。
基于科氏加速度的微陀螺
【摘 要】
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首先介绍了科氏加速度产生基本原理和评价微陀螺的性能指标,然后主要从结构、工作原理、工艺、性能等方面对基于科氏加速度的一些典型微陀螺进行了分析和比较,同时对基于科氏
【机 构】
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上海交通大学微纳科学技术研究院薄膜与微细加工教育部重点实验室微米／纳米加工国防实验室
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2010年03期
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