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介绍了一种利用垂直位移台来实现钢球表面粗糙度高精度测量的垂直扫描白光干涉仪。该仪器是在6JA型干涉显微镜基础上加以改造。采用白光干涉。通过检测干涉信号的光强峰值，实现高精度的钢球表面三维形貌测量。通过试验验证该系统可对精度等级为3级的钢球进行精确的表面形貌测量。
钢球表面粗糙度的白光干涉非接触测量法
【摘 要】
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介绍了一种利用垂直位移台来实现钢球表面粗糙度高精度测量的垂直扫描白光干涉仪。该仪器是在6JA型干涉显微镜基础上加以改造。采用白光干涉。通过检测干涉信号的光强峰值，实
【机 构】
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华中科技大学机械科学与工程学院
【出 处】
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轴承
【发表日期】
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2006年3期
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