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本文通过理论分析和大量的测试数据剖析了传统的RSF存在的分流比非线性、流量系数非线性和临介雷诺数的不确定因素。在此基础上，我们采用三段系数修正算法，将其流量函数进行线性化，做到流量系数为一常数。采用温度补偿算法将蒸汽的密度变化引起的质量流量的变化进行修正。通过大量测试数据证明，在1：8的流量范围内，其质量流量误差仅为1％-1.5％，其数字电路总功耗只有180μA。