【摘 要】
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近年来，随着材料学科的发展，配备可检测x射线能谱仪的扫描电子显微镜（SEM／EDS）越来越引起重视。此方法较为简便，可对样品的表面形貌以及微区成分进行决速的定性和定量分析。本文介
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近年来，随着材料学科的发展，配备可检测x射线能谱仪的扫描电子显微镜（SEM／EDS）越来越引起重视。此方法较为简便，可对样品的表面形貌以及微区成分进行决速的定性和定量分析。本文介绍了扫描电子显微镜和可检测x射线能谱仪的工作原理以及特点。以微量物为实例，进行多次定点分析、线分析以及面分析，说明在对微量物的分析中EDS／SEM法是最有效的方法之一。
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