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应用磁过滤真空阴极电弧离子沉积技术，以石墨为阴极靶材，在基片上沉积碳膜．利用光电子能谱，喇曼谱和扫描电镜对薄膜的结构形貌进行分析．结果表明：碳膜由具有金刚石特征ＳＰ３和非晶碳特征ＳＰ２的碳组成，并称之为无定形金刚石碳膜ａＤ．
磁过滤真空阴极电弧沉积无定形金刚石碳膜
【摘 要】
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应用磁过滤真空阴极电弧离子沉积技术，以石墨为阴极靶材，在基片上沉积碳膜．利用光电子能谱，喇曼谱和扫描电镜对薄膜的结构形貌进行分析．结果表明：碳膜由具有金刚石特征ＳＰ３和非晶碳特征
【机 构】
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云南省分析测试研究所
【出 处】
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云南大学学报(自然科学版)
【发表日期】
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1999年S1期
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