【摘 要】
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针对目前引信用压电式气流谐振发电机体积大,压电膜片难以达到谐振状态,且有输出电压低等缺点,结合常用射流发电机原理和微机电系统（MEMS）制造工艺,提出了一种MEMS压电式射流发
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针对目前引信用压电式气流谐振发电机体积大,压电膜片难以达到谐振状态,且有输出电压低等缺点,结合常用射流发电机原理和微机电系统（MEMS）制造工艺,提出了一种MEMS压电式射流发电机,其以悬臂梁式压电膜片代替压电膜片结构发电,并通过双向流固耦合分析及压电仿真等对发电机的性能进行了验证,结果表明,MEMS压电式射流发电机可满足低功耗引信使用,且具有结构简单,体积小,输出电压高等特点。
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ue＊M＃’＃dkB4＃＃8＃”专利申请号:00109“7公开号:1278062申请日:00.06.23公开日:00.12.27申请人地址:（100084川C京市海淀区清华园申请人:清华大学发明人:隋森芳文摘:本发明属于生物技
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